Cuando la muestra es termosensible, se oxida, o contiene disolventes que deben retirarse a baja temperatura: al reducir la presión, la evaporación ocurre a temperaturas mucho menores y sin dañar el material. El secado por calor convencional es más simple y rápido para materiales robustos.

Una bomba de vacío adecuada al disolvente (química para vapores corrosivos), y en su caso trampa fría. Conviene definirlo junto con el equipo para asegurar compatibilidad de rangos y conexiones.

Solo en cámaras de vacío diseñadas para ello, con interior y controles preparados para atmósferas potencialmente explosivas. Es un requisito de seguridad que debe especificarse desde la compra.

El horno es el equipo térmico general; la cámara de secado está optimizada para retirar humedad con gran intercambio de aire, y la de vacío añade presión reducida. La elección depende del material y del proceso.